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洁净厂房微振控制
1.有微振控制要求的洁净厂 房，设计应考虑建筑结构的选型及地面(楼面)的构造做法，如增加基础及上部结构垂直及横向刚度，增加地面(楼面)刚度，能有效减小振动影响。此外，还应考虑隔振缝设置及其有效的构造措施，壁板与地面及顶棚采用柔性连接等，均能减小振动传递。即减小了对精密设备、仪器仪表的振动影响。
在洁净厂房设计中，应先考虑对强振源采取隔振措施，以减小强振源对精密设备、仪器仪表的振动影响，在此基础上，精密设备、仪器仪表再根据各自的容许振动值采取被动隔振措施，大致能够达到预定目的。
在原规范中，本条为强制性条文，虽然明确规定本条只用于有微振控制要求的洁净厂房，但由于没有量化的规定，容易引起执行不准确的问题，实施以来确有此种情况发生，为此本次修订将本条改为推荐性条文。
2.精密设备、仪器仪表的被动隔振措施，由隔振台座及隔振器(或隔振装置)组成。根据隔振设计计算需要，设定隔振台座为不变形刚体，为此应对隔振台座的形状、几何尺寸及材质选用等方面加以考虑，使之具有足够的刚度。
某些精密设备、仪器仪表在运行时，由于移动部件位置变化或加工、测试件的质量及质心位置变化，使各隔振器的变形量不相等，隔振台座发生倾斜，导致精密设备、仪器仪表难以正常工作。为此，应设置校正倾斜装置，使隔振台座保持原有的水平度，以精密设备、仪器仪表的正常运行。
隔振系统阻尼过小，会产生较大的自振，以及受外界突发干扰(如对隔振台座的冲击、室内气流的扰动影响等)，造成隔振台座晃动，这种振动值有时会大于精密设备、仪器仪表的容许振动值，影响其正常运行。为此应隔振系统阻尼值，才能减小此类振动。通过多项工程实践表明，隔振系统阻尼比不小于0.15是比较恰当的。
3.空气弹簧的垂直向、横向刚度很低，使隔振系统具有很低的固有振动频率，同时它具有可调节阻尼值的特性，隔振系统可获得需要的阻尼，因此，隔振系统具有良好的隔振效果。当配用控制阀时，可自动校正隔振台座的倾斜。由于空气弹簧具有其他隔振材料及隔振器的性，已被我国及国际工程界普遍采用作为精密设备、仪器仪表的隔振元件。
用于被动隔振措施的空气弹簧隔振装置由空气弹簧隔振器、控制阀、仪表箱及气源组成。由于空气弹簧隔振装置在校正隔振台座倾斜时会排体(如压缩空气、氮气等)，因此对气源应进行净化处理，使其达到洁净室的空气洁净度等级，才能排出的气体不致对洁净室造成污染。

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水冷式冷水机组和整体式空气调节器的冷却水应循环使用，冷却水的热量宜回收利用；冷水机组的冷却水进口温度不宜33℃；冷却水进口温度应按冷水机组的要求确定，电动压缩式冷水机组不宜低于15.5℃，冷却水系统，尤其是全年运行的冷却水系统，宜对冷却水的供水温度采取调节措施；应设置稳定冷却水系统水质的有效水质控制装置；水泵或冷水机组的管道上应设置过滤器或除污器；当一般开式冷却水系统不能满足制冷设备的水质要求时，宜采用闭式冷却塔或设置中间换热器；多台冷水机组的冷却水泵之间通过共用集管连接时，每台冷水机组或出口管道上宜设电动阀，电动阀宜于对应运行的冷水机组和冷却水泵联锁。
对进口水压有要求的冷却塔的台数应与冷却水泵台数相对应；冷却塔设置位置应通风良好，远离高温或有害气体，并应避免飘逸水对周围环境的影响；当多台开式冷却塔并联运行且不设集水箱时，应使各台冷却塔和水泵之间管段的压力损失大致相同，在冷却塔之间宜设平衡管或在各台冷却塔底部设置公用连通水槽；除横流式等进水口无余压要求的冷却塔外，多台冷却水泵和冷却塔之间通过共用集管连接时，应在每台冷却塔进水管上设置电动阀，当无集水箱或连通水槽时，每台冷却塔的出水管上也应设置电动阀，电动阀宜与对应的冷却水泵连锁；对于间歇运行的开式冷却水泵，冷却塔底盘或集水箱的有效存水容积，应大于湿润冷却塔填料等部件所需的水量以及停泵时靠重力流入管道等的水容量。
制冷和供热机房宜设置在空气调节负荷的中心，机房宜设观察控制室、维修间及洗手间；机房内应有良好的通风设置，地下层机房应设机械通风，必要时设置事故通风，控制室、维修间宜设空气调节装置；机房应考虑预留安装孔、洞及运输通道；设置集中采暖的制冷机房，其室内温度不宜低于16℃；机房应设给水与排水设施，满足水系统冲洗、排污要求。

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施工过程中各区域内的管道试压已按系统分段进行，为了安全起见，宜先将整个管路系统的主干及各支路阀门全部关严，在系统充水前，先按空调水系统冲洗示意图，将主干管道的末端管路连通，而且将点与点均设置泄水阀与排气阀，以便杂质聚集于集分水器底部；在充水时应缓慢开启各路系统的阀门，目的是防止杂质随水流进入支路或末端设备的盘管，测试点设在管网的点与点各一处，以便系统试压时的准确核对；对管网注水时，应先将管网内的空气排净，并缓缓升压，达到实验压力后，稳压30min，目测管网，应无泄漏和无变形，且压力下降不应大于0.05MPa。
所有压力管道再隐蔽或验收前都要进行压力试验，根据管道使用的工作性质，可选用水或空气作为试验介质，如果有条件以水作为试验介质，这样便于检漏，操作时也较安全；但实际情况比较复杂，有时不适合用水做试验介质，这样就需要用空气作为压力试验介质。气压试验与水压试验相比，试验中不需要水，故不需设水源或安装引水管道及设置排水设施；受气候影响较小，如冬季风机盘管系统做水压试验，试验后风机盘管内的水不会排净，这样会冻裂盘管，采用气压试验，可避免此类现象发生。
空压机使用时应采取安全措施，输气管应避免急弯，打开压缩空气阀前，事先通知工作地点的有关人员；空压机出口处至被试压的管道系统不准有人工作，压力表、安全阀和调节器等应定期校验，保持灵敏有效；管道试压，应使用经检验合格的压力表，操作时要分级缓慢升压，稳压后方可进行检查，非操作人员不得在盲板、法兰、焊口、丝口处停留；修理工作在泄压后进行。