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控制设备噪声先要从声源上考虑,设计时应选用低噪声设备。在某些情况下,由于技术或经济上的原因而难以做到时,则应从噪声传播途径上采取降噪措施,如把高噪声工艺设备迁出洁净室或隔离布置于隔声间内。有些由于与生产联系密切,置于洁净区内的高噪声设备,亦可采用隔声罩隔绝噪声。
国内现有洁净厂房中,不少洁净室将机械泵一类高噪声设备置于洁净室外套间或技术夹道内,洁净室内噪声有明显降低。
洁净室的静态噪声主要来源于净化空调系统和局部净化设备运行噪声,静态噪声的大小与洁净室气流流型、换气次数等因素有关。但关键在于净化空调系统的布置及合理的降噪措施,不合理的设计方案必然导致较高的静态噪声。
关于降低洁净室净化空调系统噪声的措施,国内外有关资料提出了一些有效的措施:
如《现代洁净室概念》一文中强调“选择那种能满足气流要求的噪声的风机,还应该采用弹性减振基础”。关于的使用,文中说:“管道在中频和高频范围内降低噪声是有效的,当风管敷设长度在50ft以内时,应考虑采用”。关于风管的连接,文中又说:“通风机和送风管道与回风管道之间,应采用柔性连接管隔开”。还要求“将通风机外壳、静压箱和管道等加上衬里”。如北京某大学微电子研究所回风管道在未处理前噪声高达83.5dB(A),经过加设村垫处理后噪声降到66.2dB(A),使光刻间的室内环境噪声平均下降了7dB(A)~9dB(A)。由此可见,只要对风道系统采取消声和防止管道固体传声等措施,洁净室噪声可以大幅度降低。
国内还有不少洁净室,由于系统设计合理,并采取了降噪措施,室内噪声得到有效控制。
排风系统噪声对洁净室影响大,以集成电路生产为例,在生产过程中,外延、扩散、腐蚀、清洗等多种工序都需设排风系统。近年来,洁净厂房排风系统的噪声治理日益受到重视,要注意选用低噪声风机等。
由于洁净室内的工作环境要求比较安静,洁净室的密封性能较好,噪声不易衰减。按规定限制风管风速,既减小了净化空调系统的阻力,降低了风机压头和转速,减弱了风机的噪声,又防止了风速过大而产生附加噪声。
如上所述,第4.4.3条~第4.4.6条的规定均为洁净厂房设计中,从平面和空间设计到各类设备、系统及其附属设备等的选择都应充分考虑噪声控制措施,以确保达到洁净厂房要求的噪声控制值。原规范中将第4.4.3条、第4.4.4条规定为强制性条文,但在实施中各单位认为规定过严,可操作性也不强,为此本次修订改为推荐性条文。
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水冷式冷水机组和整体式空气调节器的冷却水应循环使用,冷却水的热量宜回收利用;冷水机组的冷却水进口温度不宜33℃;冷却水进口温度应按冷水机组的要求确定,电动压缩式冷水机组不宜低于15.5℃,冷却水系统,尤其是全年运行的冷却水系统,宜对冷却水的供水温度采取调节措施;应设置稳定冷却水系统水质的有效水质控制装置;水泵或冷水机组的管道上应设置过滤器或除污器;当一般开式冷却水系统不能满足制冷设备的水质要求时,宜采用闭式冷却塔或设置中间换热器;多台冷水机组的冷却水泵之间通过共用集管连接时,每台冷水机组或出口管道上宜设电动阀,电动阀宜于对应运行的冷水机组和冷却水泵联锁。
对进口水压有要求的冷却塔的台数应与冷却水泵台数相对应;冷却塔设置位置应通风良好,远离高温或有害气体,并应避免飘逸水对周围环境的影响;当多台开式冷却塔并联运行且不设集水箱时,应使各台冷却塔和水泵之间管段的压力损失大致相同,在冷却塔之间宜设平衡管或在各台冷却塔底部设置公用连通水槽;除横流式等进水口无余压要求的冷却塔外,多台冷却水泵和冷却塔之间通过共用集管连接时,应在每台冷却塔进水管上设置电动阀,当无集水箱或连通水槽时,每台冷却塔的出水管上也应设置电动阀,电动阀宜与对应的冷却水泵连锁;对于间歇运行的开式冷却水泵,冷却塔底盘或集水箱的有效存水容积,应大于湿润冷却塔填料等部件所需的水量以及停泵时靠重力流入管道等的水容量。
制冷和供热机房宜设置在空气调节负荷的中心,机房宜设观察控制室、维修间及洗手间;机房内应有良好的通风设置,地下层机房应设机械通风,必要时设置事故通风,控制室、维修间宜设空气调节装置;机房应考虑预留安装孔、洞及运输通道;设置集中采暖的制冷机房,其室内温度不宜低于16℃;机房应设给水与排水设施,满足水系统冲洗、排污要求。
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净化工程按空气洁净度规定可划分为:10级、100级、1000级、10000级、100000级。净化工程空气洁净度等级的检查,应以动态条件下测试的尘粒数为依据。
净化工程位置和总平面布置选择:应在大气含尘浓度较低,自然环境较好的区域;远离铁路、码头、飞机场、交通要道及散发大量粉尘和有害气体的工厂、储仓、堆场等有严重空气污染、振动或噪声干扰的区域。如不能远离严重空气污染源时,应位于大频率风向上风侧,或全年小频率风向下风侧;净化工程周围应进行绿化,可种植对大气含尘浓度不产生有害影响的树木,并形成绿化小区,不得妨碍消防操作;净化工程与交通干道之间的距离不宜小于50米;应布置在厂区内环境清洁,货流少穿越的地段;净化工程大频率风向上风侧有烟囱时,净化工程与烟囱之间的水平距离不宜小于烟囱高度的12倍;净化工程周围的道路面层,应选择整体性好、发尘少的材料。
净化工程噪声控制
动态测试时,净化工程内的噪声级不应超过70分贝A。
空太测试时,乱流净化工程内的噪声级不宜大于60分贝A;层流净化工程的噪声不应大于65分贝A。由于技术经济条件限制,噪声大于70分贝A对生产无影响时,噪声级可是当放宽,但不宜大于75分贝A。
净化工程的平、剖面布置,应考虑噪声控制的要求,其围护结构应有良好的隔声性能,并宜使各部分隔声量相接近;净化工程内各种设备均应选用低噪声产品,对于噪声超过无尘室允许值的设备,应设置隔声设施,如隔声间、隔声罩等;净化空气调节系统,根据室内噪声级的要求,风管内风速按下列规定选用:总风管为6-10米/秒,无送、回风口的支风管为6-8米/秒,有送、回风口的大风管为3-6米/秒;净化工程内的噪声控制设计考虑生产环境的空气洁净度要求,不得因控制噪声而影响无尘室的净化条件;净化工程内的净化空气调节系统噪声超过允许值时,应采取隔声、消声、隔声振等控制措施。
无尘车间内的人员数量应严格控制,工作人员包括维修、人员,应定期进行卫生和微生物学基础知识、洁净作业等方面的培训及考核;对进入无尘室的临时外来人员应进行和监督。
100级无尘车间内不得设置地漏,操作人员不应裸手操作,当不可避免时手部应及时消毒;
10000级无尘车间使用传输设备不得穿越较低级别区域;100000级以上区域的洁净工作服应在无尘车间内洗涤、干燥、整理,按要求灭菌。
无尘车间与非无尘车间之间设置缓冲设施,人、物流走向合理。
无尘车间内应使用无脱落物,易洗涤、易消毒的卫生工具,卫生工具要存放于对产品不造成污染的制定地点,并应限定使用区域。
车间内设备保温层表面应平整、光洁,不得有颗粒性物质脱落。
无尘车间内的净化空气如可循环使用,应采取有效措施避免污染和交叉污染。
在静态条件下检测的尘埃粒子数、浮游菌数或沉降菌数符合规定,应定期动态条件下的洁净状况。
空气净化系统应按规定清洁、维修、保养并做好记录。
主营行业:净化工程 |
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公司成立时间:2021-05-18 |
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