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问题来了莱芜为什么无尘室要求恒温恒湿

更新时间:2021-05-26 08:34:14 信息编号:220519270
问题来了莱芜为什么无尘室要求恒温恒湿
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问题来了莱芜为什么无尘室要求恒温恒湿

无尘室空调是温湿度控制的心脏,要求精度高,故障率低。所以要求空调能调节制冷量,市面上已有两种方式:一种是变频调节;另一种是冷冻水调节方式。无尘室的温湿度在满足加工工艺的条件下,应该考虑人舒不舒服。

随着空气洁净度要求的提高,工艺对温湿度的要求也越来越高,达到一定的温湿度等级。例如在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中,作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。直径100um的硅片,温度上升1度,就引起了0。24um线性膨胀,所以有±0。1度的恒温,同时要求湿度值一般较低,因为人出汗以后,对产品将有污染,特别是怕钠的半导体车间,这种车间不宜超过25度。湿度过高产生的问题更多。相对湿度超过55%时,冷却水管壁上会结露,如果发生在精密装置或电路中,就会引起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。然而对于大部分洁净空间,为了防止外界污染侵入,需要保持内部的压力(静压)外部的压力(静压)。
压力差的维持一般应符合以下原则:
1、洁净度级别高的空间的压力要相邻的洁净度级别低的空间的压力。
2、相通无尘室之间的门要开向洁净度级别高的房间。
3、洁净空间的压力要非洁净空间的压力。 压力差的维持依靠新风量,这个新风量要能补偿在这一压力差下从缝隙漏泄掉的风量。所以压力差的物理意义就是漏泄(或渗透)风量通过无尘室的各种缝隙时的阻力。

对于乱流无尘室由于主要靠空气的稀释作用来减轻室内污染的程度,所以主要用换气次数这一概念,而不直接用速度的概念,不过对室内气流速度也有如下要求:
1、送风口出口气流速度不宜太大,和单纯空调房间相比,要求速度衰减更快,扩散角度更大。
2、吹过水平面的气流速度(例如侧送时回流速度)不宜太大,以免吹起表面微粒重返气流,而造成再污染,这一速度一般不宜大干0。2m/s。

在我国,《空气洁净技术措施》和<洁净厂房设计规范))都是这样规定的垂直平行流(层流)无尘室≥0。25m/s;水平平行流(层流)无尘室≥0。35m/s。


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